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ISO 14644-9:2012
凈化室和相關控制環境.第9部分:利用顆粒物濃度對表面潔凈度的分類

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

被代替

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標準號: ISO 14644-9:2012
發布: 2012年
發布單位: 國際標準化組織
替代標準: ISO 14644-9:2022
當前最新: ISO 14644-9:2022

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