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  • KS I ISO 14644-9:2014
    潔凈室和相關控制環境 第9部分:顆粒濃度對表面清潔度的分類

    Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration


     

     

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    標準號
    KS I ISO 14644-9:2014
    發布
    2014年
    發布單位
    韓國科技標準局
    替代標準
    KS I ISO 14644-9:2019
    當前最新
    KS I ISO 14644-9:2019
     
     

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