BS EN ISO 14644-14:2016
潔凈室和相關控制環境. 利用氣載顆粒濃度評定設備的適合性
Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
- 標準號
- BS EN ISO 14644-14:2016
- 發布
- 2016年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN ISO 14644-14:2016
- 引用標準
- AIR 1167 IEST RP-CC026.2 IEST-RP-CC002.3 IEST-RP-CC013. 3 IEST-RP-CC028.1 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926 SEMI E137-0705 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083-9.1
BS EN ISO 14644-14:2016相似標準
DIN EN ISO 14644-14 E:2014-11 潔凈室和相關控制環境 第14部分：利用氣載顆粒濃度評定設備的適合性（草案）
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KS I ISO 14644-14:2018 潔凈室和相關控制環境 - 第14部分:通過機載顆粒濃度評估設備使用的適用性
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