GB/T 14146-1993
硅外延層載流子濃度測定和探針電容--電壓法
Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
- 標準號
- GB/T 14146-1993
- 發布日期
- 1993年02月06日
- 實施日期
- 1993年10月01日
- 廢止日期
- 2010-06-01
- 中國標準分類號
- H21
- 國際標準分類號
- 29.040.30
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 代替標準
- GB/T 14146-2009
- 適用范圍
- 本標準規定了硅外延層載流子濃度汞探針電容-電壓測量方法。 本標準適用于同質的硅外延層載流子濃度測量。測量范圍為1013～1018cm-3。
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