GB/T 14146-1993
硅外延層載流子濃度測定和探針電容--電壓法
Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
GBT14146-1993, GB14146-1993
2010-06
- 標準號
- GB/T 14146-1993
- 別名
- GBT14146-1993
GB14146-1993 - 發布
- 1993年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 14146-2009
- 當前最新
- GB/T 14146-2021
- 本標準規定了硅外延層載流子濃度汞探針電容-電壓測量方法。 本標準適用于同質的硅外延層載流子濃度測量。測量范圍為1013～1018cm-3。
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