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GB/T 14264-1993
半導體材料術語

Semiconductor materials-Terms and definitions

GBT14264-1993, GB14264-1993

被代替

2010-06

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標準號: GB/T 14264-1993
別名: GBT14264-1993, GB14264-1993
發布: 1993年
發布單位: 國家質檢總局
替代標準: GB/T 14264-2009
當前最新: GB/T 14264-2024

適用范圍: 本標準規定了半導體材料及其生長工藝、加工、晶體缺陷和表面沾污等方面的主要術語和定義。本標準適用于元素和化合物半導體材料。

GB/T 14264-1993相似標準

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GB/T 14264-1993 中可能用到的儀器設備

金屬檢測機分子束外延(MBE) 四探針測試儀

誰引用了GB/T 14264-1993 更多引用

GB/T 12963-2022 電子級多晶硅

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