ASTM F1711-96(2016)
采用四點探針法測量平板顯示器制造用薄膜導體的薄層電阻的標準實施規程
Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors for Flat Panel Display Manufacturing Using a Four-Point Probe Method
- 標準號
- ASTM F1711-96(2016)
- 發布
- 1996年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 當前最新
- ASTM F1711-96(2016)
- 引用標準
- ASTM F390
- 適用范圍
- 1.1 四點探針法可能會對被測薄膜造成破壞。因此，取樣應靠近板的邊緣或拐角處進行，因為此處薄膜是消耗性的。然后需要特殊的幾何校正因子來得出真實的薄層電阻。
5.1.2 測試方法 F390 僅限于傳統的共線探頭布置，但交錯的共線和方形陣列在特定情況下很有用。需要校正因子來考慮非常規的探頭布置。
5.1.3 測試方法 F390 預期一種精密測試布置，其中探頭支架和樣品被剛性定位。沒有相應的設備可用于測試大型玻璃或塑料基板。事實上，在平板顯示器制造中，探針由操作員手持是很常見的。
5.1.4 鑒于 5.1.3 中提到的條件，很難確保均勻的探頭間距不會因設備的粗暴操作而降低。所描述的相控方陣可以平均掉探頭放置誤差。
5.1.5 這種做法估計精確到以下級別。否則，可接受的精度可能會因探頭擺動而降低（見 8.6.4）。
5.1.5.1 作為裁判方法，在使用前按照測試方法 F390 第 7 段和本實踐第 8 段的程序對探頭和測量設備進行檢查和鑒定：測得的方塊電阻的標準偏差 s ，RS，是≤ 0.01RS。
5.1.5.2 作為常規方法，按照測試方法 F390 第 7 段和本實踐第 8 段的程序定期對探頭和測量設備進行鑒定：測得的方塊電阻 RS 的標準偏差 s 為 & #x2264； 0.02RS。 1.1 本實踐描述了測量沉積在大型絕緣基板上的濺射導電薄膜的薄層電阻的方法，用于制造平板信息......