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  • ASTM F390-98(2003)
    用共線四探針法對金屬薄膜的薄膜耐力的試驗方法

    Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array


    標準號
    ASTM F390-98(2003)
    發布
    1998年
    發布單位
    美國材料與試驗協會
    替代標準
    ASTM F390-11
    當前最新
    ASTM F390-11
     
     
    適用范圍
    1.1 本測試方法涵蓋使用共線四探針陣列測量金屬薄膜的方塊電阻。它旨在與厚度在 0.01 至 100 μm 之間的矩形金屬薄膜一起使用,通過材料沉積或減薄工藝形成并由絕緣基板支撐,薄層電阻范圍為 10 至 10 Ω/ [開箱](見3.1.3)。
    1.2 本測試方法適用于裁判測量目的以及常規驗收測量。
    1.3 以Si單位表示的數值應視為標準。括號中給出的值僅供參考。
    1.4 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題(如果有)。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

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