ASTM F390-98(2003)
用共線四探針法對金屬薄膜的薄膜耐力的試驗方法
Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array
- 標準號
- ASTM F390-98(2003)
- 發布
- 1998年
- 總頁數
- 4頁
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM F390-11
- 當前最新
- ASTM F390-11
1.1 本測試方法涵蓋使用共線四探針陣列測量金屬薄膜的方塊電阻。它旨在與厚度在 0.01 至 100 μm 之間的矩形金屬薄膜一起使用，通過材料沉積或減薄工藝形成并由絕緣基板支撐，薄層電阻范圍為 10 至 10 Ω/ [開箱]（見3.1.3）。 1.2 本測試方法適用于裁判測量目的以及常規驗收測量。 1.3 以Si單位表示的數值應視為標準。括號中給出的值僅供...