ASTM F1844-97(2016)
使用非接觸式渦流量規測量平板顯示器制造薄膜導體薄片電阻的標準實踐

Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors For Flat Panel Display Manufacturing Using a Noncontact Eddy Current Gage

標準號

ASTM F1844-97(2016)

發布

2016年

發布單位

美國材料與試驗協會

當前最新

ASTM F1844-97(2016)

 

 

引用標準

ASTM F673

適用范圍

1.1 本實踐描述了測量沉積在大型絕緣基板（玻璃或塑料）上的濺射導電薄膜的薄層電阻的方法，用于制造平板信息顯示器。
1.2 本實踐旨在與測試方法 F673 一起使用。這種做法屬于“手動”測量程序，其中操作員將測量頭放置在測試樣本上，然后親自啟動測試設備。所得到的測試數據可以由操作員制成表格，或者發送到基于計算機的數據記錄系統。測試方法 F673 的方法 I 和 II（測試方法 F673 的第 3.1 至 3.3.3 段）均適用于本實踐。
1.3 可以通過這種做法測量每平方 0.020 至 3000 Ω 范圍內的薄層電阻率（每平方范圍為 3 × 10-4 至 50 歐姆的薄層電導）。假定被探測區域的薄層電阻是均勻的。注 1——如本實踐中所述，典型的手動測試單位以“歐姆每平方”為單位進行測量和報告；這是“每平方歐姆”的倒數。
1.4 此做法僅適用于平坦表面。
1.5 這種做法是非破壞性的。它可以用在生產面板上以幫助確保生產的一致性。
1.6 以 SI 單位表示的值應被視為標準值。本標準不包含其他計量單位。
1.7 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

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