ASTM F1711-96(2016)
采用四點探針法測量平板顯示器制造用薄膜導體的薄層電阻的標準實施規程
Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors for Flat Panel Display Manufacturing Using a Four-Point Probe Method
哪些標準引用了ASTM F1711-96(2016)
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- 標準號
- ASTM F1711-96(2016)
- 發布
- 1996年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 當前最新
- ASTM F1711-96(2016)
- 引用標準
- ASTM F390
- 1.1 四點探針法可能會對被測薄膜造成破壞。因此，取樣應靠近板的邊緣或拐角處進行，因為此處薄膜是消耗性的。然后需要特殊的幾何校正因子來得出真實的薄層電阻。 5.1.2 測試方法 F390 僅限于傳統的共線探頭布置，但交錯的共線和方形陣列在特定情況下很有用。需要校正因子來考慮非常規的探頭布置。 5.1.3 測試方法 F390 預期一種精密測試布置，其中探頭支架...
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