GB/T 32189-2015
氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法
Atomic Force Microscopy Examination of Surface Roughness of Gallium Nitride Single Crystal Substrate
GBT32189-2015, GB32189-2015
- 標準號
- GB/T 32189-2015
- 別名
- GBT32189-2015
GB32189-2015 - 發布
- 2016年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 32189-2015
- 引用標準
- GB/T 14264 GB/T 27760 GB/T 3505 JJF 1351
- 本標準規定了用原子力顯微鏡測試所化久單晶襯底表面粗糙度的方法。 本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的表面粗糙度小于10 nm 的氮化勻單唱襯底。 其他具有相似表面結構的半導體單品襯底應用本標準提供的方法進行測試前,需經測試雙方協商達成一致。