氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法 是非強制性國家標準,您可以免費下載預覽頁
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Park帕克原子力顯微鏡
由于氮化硅薄膜具有在同等體積下較小的質量和良好的光學性能等特點,被廣泛應用于力和質量傳感器。通過改變氮化硅表面形貌對石墨烯/氮化硅復合材料性能進行調控,對于石墨烯/氮化硅復合材料器件的設計具有重要的理論和工程價值。近日,江蘇大學葛道晗研究團隊通過化學氣相沉積法和干法刻蝕制備出一種具有一定深度的氮化硅襯底,并采用濕法轉移將石墨烯轉移到不同形貌的襯底上,得到石墨烯/氮化硅復合材料。...
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