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    • GB/T 32189-2015
    氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法

    Atomic Force Microscopy Examination of Surface Roughness of Gallium Nitride Single Crystal Substrate

    GBT32189-2015, GB32189-2015


    GB/T 32189-2015 中，可能用到以下儀器設備

     

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    沈陽科晶/KJ GROUP

     

    金相研究成套設備-中級系列

    金相研究成套設備-中級系列

    沈陽科晶/KJ GROUP

     

    金相研究成套設備-高級系列

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    沈陽科晶/KJ GROUP

     

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    陶瓷、玻璃等脆性材料研究成套設備-高級系列

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    沈陽科晶/KJ GROUP

     

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    沈陽科晶/KJ GROUP

     

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    沈陽科晶/KJ GROUP

     

    GB/T 32189-2015
    標準號
    GB/T 32189-2015
    別名
    GBT32189-2015
    GB32189-2015
    發布
    2016年
    發布單位
    國家質檢總局
    當前最新
    GB/T 32189-2015
     
     
    引用標準
    GB/T 14264 GB/T 27760 GB/T 3505 JJF 1351
    本標準規定了用原子力顯微鏡測試所化久單晶襯底表面粗糙度的方法。 本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的表面粗糙度小于10 nm 的氮化勻單唱襯底。 其他具有相似表面結構的半導體單品襯底應用本標準提供的方法進行測試前,需經測試雙方協商達成一致。

    GB/T 32189-2015相似標準

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    GB/T 32189-2015 中可能用到的儀器設備

    激光共聚焦顯微鏡 掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM 顯微鏡附件 視頻顯微鏡 超分辨率顯微鏡 材料/金相顯微鏡 透射電鏡TEM 工業顯微鏡/工具顯微鏡 其他包裝業專用 臺階儀

    誰引用了GB/T 32189-2015 更多引用

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