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  • JC/T 2243-2014
    等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管

    Quartz tube covered in a film for PECVD

    JCT2243-2014, JC2243-2014


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    JC/T 2243-2014

    標準號
    JC/T 2243-2014
    別名
    JCT2243-2014
    JC2243-2014
    發布
    2014年
    發布單位
    行業標準-建材
    當前最新
    JC/T 2243-2014
     
     
    引用標準
    JC/T 2066-2011 JC/T 597-2011 JC/T 598
    代替標準
    KS B 4063-2014
    本標準規定了等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管的術語和定義、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于板式等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管(以下簡稱PE石英管)。

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