JC/T 2243-2014
等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管
Quartz tube covered in a film for PECVD
JCT2243-2014, JC2243-2014
- 標準號
- JC/T 2243-2014
- 別名
- JCT2243-2014, JC2243-2014
- 發布
- 2014年
- 發布單位
- 行業標準-建材
- 當前最新
- JC/T 2243-2014
- 引用標準
- JC/T 2066-2011 JC/T 597-2011 JC/T 598
- 代替標準
- KS B 4063-2014
- 適用范圍
- 本標準規定了等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管的術語和定義、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于板式等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管(以下簡稱PE石英管)。
JC/T 2243-2014相似標準
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