JC/T 2243-2014
等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管
Quartz tube covered in a film for PECVD
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- 標準號
- JC/T 2243-2014
- 發布日期
- 2014年10月14日
- 實施日期
- 2015年04月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- Q35
- 國際標準分類號
- 81.040.30
- 發布單位
- CN-JC
- 引用標準
- JC/T 597-2011 JC/T 598 JC/T 2066-2011
- 適用范圍
- 本標準規定了等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管的術語和定義、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于板式等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管(以下簡稱PE石英管)。