JJF 1351-2012
掃描探針顯微鏡校準規范
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
- 標準號
- JJF 1351-2012
- 發布
- 2012年
- 發布單位
- 國家計量技術規范
- 當前最新
- JJF 1351-2012
- 引用標準
- GB/T 19067.1-2003 JJF 1001-2011
- 本規范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。 掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同，校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務，如對溯源要求較高的測量，不在本校準規范的適用范圍。
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