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掃描探針顯微鏡的種類 掃描探針顯微鏡主要可分為掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)、力調制顯微鏡(FMM)、相位檢測顯微鏡(PDM)、靜電力顯微鏡(EFM)、電容掃描顯微鏡(SCM)、熱掃描顯微鏡(SThM)和近場光隧道掃描顯微鏡(NSOM)等各種系列顯微鏡。 ...
于是迫切要求找到一種在X、Y、Z三個方向的分辨力均能達到納米量級的表面粗糙度測量方法。以掃描隧道顯微鏡與原子力顯微鏡為代表的掃描探針顯微鏡技術，由于其超高分辨力，完全能滿足這種微小尺寸的測量要求。...
于是迫切要求找到一種在X、Y、Z三個方向的分辨力均能達到納米量級的表面粗糙度測量方法。以掃描隧道顯微鏡與原子力顯微鏡為代表的掃描探針顯微鏡技術，由于其超高分辨力，完全能滿足這種微小尺寸的測量要求。...
原子力激光顯微鏡掃描隧道顯微鏡技術曾在1986年榮獲諾貝爾物理學獎。這是物理學與計算機結合的產物。它是把電壓加到樣品和探針上，當探針接觸樣品時產生隧道電子，其隧道電子數將隨樣品到探針的間距而改變，目前其縱向和橫向分辨率均可達埃（微微微米）級。在掃描隧道顯微鏡基礎上，美國數字儀器公司又推出了原子力顯微鏡。該技術是把前者的導體探針改為金剛石針，并使其懸浮在樣品表面。...
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