JJF 1351-2012
掃描探針顯微鏡校準規范
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
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- 標準號
- JJF 1351-2012
- 發布日期
- 2012年06月18日
- 實施日期
- 2012年09月18日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- N32
- 發布單位
- CN-JJF
- 引用標準
- JJF 1001-2011 GB/T 19067.1-2003
- 適用范圍
- 本規范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。 掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同，校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務，如對溯源要求較高的測量，不在本校準規范的適用范圍。