GB/T 28276-2012
硅基MEMS制造技術.體硅溶片工藝規范
Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for dissolved wafer process
GBT28276-2012, GB28276-2012
說明：
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- 標準號
- GB/T 28276-2012
- 別名
- GBT28276-2012
GB28276-2012 - 發布
- 2012年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 28276-2012
- 引用標準
- GB 50073-2001 GB/T 19022-2003 GB/T 26111-2010
本標準規定了采用體硅深片加工工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和工藝評價規范。 本標準適用于體硅溶片工藝的加工和質量檢驗。