GB/T 6618-1995
硅片厚度和總厚度變化測試方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
GBT6618-1995, GB6618-1995
2010-06
- 標準號
- GB/T 6618-1995
- 別名
- GBT6618-1995, GB6618-1995
- 發布
- 1995年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 6618-2009
- 當前最新
- GB/T 6618-2009
- 適用范圍
- 本標準規定了硅單晶切割片、研磨片和拋光片（簡稱硅片）厚度和總厚度變化的分立點式和掃描式測量方法。
GB/T 6618-1995相似標準
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