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  • JIS H 0611:1994
    硅片厚度、厚度變化及彎曲的測量方法

    Methods of measurement of thickness, thickness variation and bow for silicon wafer


     

     

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    標準號
    JIS H 0611:1994
    發布
    1994年
    發布單位
    日本工業標準調查會
    當前最新
    JIS H 0611:1994
     
     
    適用范圍
    この規格は,シリコン単結晶ウェーハ(以下,ウェーハという。)の厚さ,厚さむら及びポウの測定方法について規定する。

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