薄膜厚度測量儀?濟南三泉中石實驗儀器有限公司根據相關標準研發生產了薄膜厚度測量儀CHY-U, 適用薄膜、電池隔膜、太陽能電池硅片、紙張、膠帶、箔片、硅片等各種材料的厚度測量,是一款超高測試誤差的全自動測厚儀,測厚儀被廣泛應用于質檢機構、薄膜生產廠家、光伏廠等單位。???...
·?實驗條件儀器及附件:? ? FTIR-650 傅里葉變換紅外光譜儀;? ??氧碳測試附件 硅中氧碳測試支架;? ? ?測試條件:?? ??分辨率: 2cm -1? ??掃描次數: 64次? ??檢測器: DTGS? ? ??其他:?? ??千分尺:精確至0.01mm? ??氫氟酸(HF):分析純(A.R)? ??·?樣品的制備按GB/T 1558-2009和GB/T 1557-2006要求選取合適的參比硅片和樣品硅片...
如圖3所示,實測膜層厚度約47.4 nm,同時鋁、氧原子比也非常接近于2:3。通過平面內的多點檢測,Layerprobe可以給出膜厚-成分梯度的變化。圖4是使用Layerprobe對硅片上軌純鋁鍍層進行膜厚均勻度檢測的結果。圖 3:結果頁面。理論譜圖與實驗譜圖高度契合,同時提供了K因子預測值與實際值的相對誤差圖 4:鋁膜的厚度梯度分布。...
該研究工作得到了國家自然科學基金(11104288)及寧波市自然科學基金(2011A610202)等項目的支持。 不同厚度Al2O3減反層沉積后的帶絨面單晶硅片照片及其反射率曲線 在經過Al2O3鈍化處理后的p-Si的最佳少子壽命測試結果 在經過Al2O3鈍化處理后的n-Si的最佳少子壽命測試結果...
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