特點： 1）在中溫或高溫下，通過氣態的初始化合物之間的氣相化學反應而形成固體物質沉積在基體上。 2）可以在常壓或者真空條件下(負壓“進行沉積、通常真空沉積膜層質量較好）。 3）采用等離子和激光輔助技術可以顯著地促進化學反應，使沉積可在較低的溫度下進行。 4）涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而變化，從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。 5）可以控制涂層的密度和涂層純度。 6）繞鍍件好。...
[1]3、適于大批量生產：非晶硅材料是由氣相淀積形成的，目前已被普遍采用的方法是等離子增強型化學氣相淀積(PECVD)法。此種制作工藝可以連續在多個真空淀積室完成，從而實現大批量生產。采用玻璃基板的非晶硅太陽能電池，其主要工序（PECVD）與TFT-LCD陣列生產相似，生產方式均具有自動化程度高、生產效率高的特點。...
1.3 石墨管的選擇 石墨管內表面的物理化學特性是影響分析靈敏度和精密度的重要因素,熱解涂層石墨管對Ag、Cd、Sn、Pb、Au、Sb、Se、Be、Zn、As、Te等元素的分析靈敏度高,但同時在使用熱解涂層石墨管時還需注意采取措施消除干擾。本文中熱解涂層石墨管采用涂鋯層處理。 ...
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