SJ/T 11487-2015
半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法
Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
SJT11487-2015, SJ11487-2015
- 標準號
- SJ/T 11487-2015
- 別名
- SJT11487-2015, SJ11487-2015
- 發布
- 2015年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ/T 11487-2015
- 適用范圍
- 本標準規定了半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法。本標準適用于半絕緣砷化鎵、磷化銦、碳化硅等高阻半導體材料電阻率的測量,電阻率的測量范圍為105 Ω·cm~1012 Ω·cm。
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