SJ/T 11487-2015
半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法

Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer

標準號

SJ/T 11487-2015

發布日期

2015年04月30日

實施日期

2015年10月01日

廢止日期

無

中國標準分類號

H83

國際標準分類號

29.045

發布單位

CN-SJ

適用范圍

本標準規定了半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法。本標準適用于半絕緣砷化鎵、磷化銦、碳化硅等高阻半導體材料電阻率的測量,電阻率的測量范圍為10⁵ Ω·cm~10¹² Ω·cm。