SJ/T 11487-2015
半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法
Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
SJT11487-2015, SJ11487-2015
SJ/T 11487-2015 中，可能用到以下儀器
- 標準號
- SJ/T 11487-2015
- 別名
- SJT11487-2015
SJ11487-2015 - 發布
- 2015年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ/T 11487-2015
- 本標準規定了半絕緣半導體晶片電阻率的無接觸測量方法。本標準適用于半絕緣砷化鎵、磷化銦、碳化硅等高阻半導體材料電阻率的測量,電阻率的測量范圍為105 Ω·cm~1012 Ω·cm。
SJ/T 11487-2015相似標準
推薦
四探針測試儀HDRTS-8
HD-RTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。 ...
淺析適用于射頻微波等高頻電路的半導體材料及工藝 -1
半導體材料是一類具有半導體性能(導電能力介于導體與絕緣體之間，電阻率約在 1mΩ·cm～1GΩ·cm 范圍內)、可用來制作半導體器件和集成電路的電子材料。按種類可以分為元素半導體和化合物半導體兩大類，元素半導體指硅、鍺單一元素形成的半導體，化合物指砷化鎵、磷化銦等化合物形成的半導體。...
【邀請函】優尼康邀您參加8月3-4日蘇州太倉·化合物半導體先進技術及應用大會
R50四探針電阻率測量儀Filmetrics R50 系列提供接觸式四點探針 (4PP) 和非接觸式渦流 (EC）測量。最快 1 點/秒的速度映射導電膜的電阻率/電導率。電動 X-Y 載物臺使用標準晶片吸盤定制樣品架，最大可測量 300mm 的樣品,或200mm 的面積。...
優尼康UNICORN2022年終感恩回饋 | 多重福利等您領取！
應用：半導體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨）；LCD 液晶顯示器（聚酰亞胺、ITO 透明導電膜）；光學鍍膜（硬涂層、抗反射層）；MEMS 微機電系統（光刻膠、硅系膜層）。?R50四探針電阻率測量儀Filmetrics R50 系列提供接觸式四點探針 (4PP) 和非接觸式渦流 (EC）測量。最快 1 點/秒的速度映射導電膜的電阻率/電導率。...