GB/T 29190-2012
掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
GBT29190-2012, GB29190-2012
- 標準號
- GB/T 29190-2012
- 別名
- GBT29190-2012, GB29190-2012
- 發布
- 2012年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29190-2012
- 引用標準
- GB/T 15000.3 ISO 18115 JJF 1001 JJF 1059
- 適用范圍
- 本標準規定了SPM漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數規格，及基于SPM掃描圖像的漂移速率測量基波方法。 本標準適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標準中的漂移測量不適用于圖像校正。
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