GB/T 6618-2009
硅片厚度和總厚度變化測試方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
GBT6618-2009, GB6618-2009
GB/T 6618-2009 中，可能用到以下儀器設備
點擊查看大圖
- 標準號
- GB/T 6618-2009
- 別名
- GBT6618-2009
GB6618-2009 - 發布
- 2009年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 6618-2009
- 引用標準
- GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14139 GB/T 2828.1
- 被代替標準
- GB/T 6618-1995
本標準規定了硅單晶切割片、研磨片、拋光片和外延片(簡稱硅片)厚度和總厚度變化的分立式和掃描式測量方法。 本標準適用于符合GB／T 12964、GB／T 12965、GB／T 14139規定的尺寸的硅片的厚度和總厚度變化的測量。在測試儀器允許的情況下，本標準也可用于其他規格硅片的厚度和總厚度變化的測量。
專題
GB/T 6618-2009相似標準
推薦
紙樣厚度測試儀的產品用途和技術參數
功能用途 GH-3型數字測厚儀是一種集光、機、電、算為一體的高精度數字測厚儀，操作方便。測量結果為數字顯示，有清零設置，方便消除測量誤差。主要用于對塑料薄膜，紙張等直接測量或比較測量，還可用于幾何尺寸形位偏差的檢測和機械加工過程中進給量的監控和在線檢測。 技術參數 1. 測量范圍...
質檢總局公布271項國家標準(09年第12期
GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定擴展電阻探針法 GB/T 6617-1995 1986-07-26 2009-10-30 2010-06-01 35 GB/T 6618-2009 硅片厚度和總厚度變化測試方法 GB/T 6618-1995...