• <li id="ccaac"></li>
  • <table id="ccaac"><rt id="ccaac"></rt></table>
  • <td id="ccaac"></td>
  • <td id="ccaac"></td>

    • GB/T 4058-2009
    硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

    Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers

    GBT4058-2009, GB4058-2009


    GB/T 4058-2009 中，可能用到以下儀器設備

     

    ELGA EDI可再生純水機

    ELGA EDI可再生純水機

    英國 ELGA LabWater威立雅水處理技術（上海）有限公司/威立雅/ELGA

     

    Cascada III.I全新智能純水一體化

    Cascada III.I全新智能純水一體化

    頗爾（中國）有限公司 pall ForteBio

     

    默克密理博RiOs 50 純水系統，ZR0S50050

    默克密理博RiOs 50 純水系統，ZR0S50050

    默克生命科學

     

    ELGA 中國和產品

    ELGA 中國和產品

    英國 ELGA LabWater威立雅水處理技術（上海）有限公司/威立雅/ELGA

     

    SF160實驗室純水超純水一體機

    SF160實驗室純水超純水一體機

    北京綠綿科技有限公司

     

    BG系列磨拋機

    BG系列磨拋機

    美國力可公司

     

    GR20粗磨機

    GR20粗磨機

    美國力可公司

     

    SS1000磨拋機

    SS1000磨拋機

    美國力可公司

     

    實驗室級超純水器

    實驗室級超純水器

    北京安合美誠科學儀器有限公司

     

    實驗室超純水器

    實驗室超純水器

    北京安合美誠科學儀器有限公司

     

    超純水機

    超純水機

    保定蘭格恒流泵有限公司

     

    實驗室超純水機

    實驗室超純水機

    北京安合美誠科學儀器有限公司

     

    實驗室超純水機

    實驗室超純水機

    北京安合美誠科學儀器有限公司

     

    工業級超純水

    工業級超純水

    北京安合美誠科學儀器有限公司

     

    超純水器6型

    超純水器6型

    北京同泰聯科技發展有限公司

     

    超純水器7型

    超純水器7型

    北京同泰聯科技發展有限公司

     

    超純水器

    超純水器

    北京同泰聯科技發展有限公司

     

    超純水器8型、超純水機、

    超純水器8型、超純水機、

    北京同泰聯科技發展有限公司

     

    3913型 Thermo Scientific恒溫恒濕培養箱

    3913型 Thermo Scientific恒溫恒濕培養箱

    賽默飛世爾科技（中國）有限公司

     

    LWI-9080系列隔水式電熱恒溫培養箱

    LWI-9080系列隔水式電熱恒溫培養箱

    徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

     

    二氧化碳培養箱

    二氧化碳培養箱

    益世科生物（Esco Lifesciences Group）

     

    Eppendorf 細胞培養皿

    Eppendorf 細胞培養皿

    艾本德中國有限公司(Eppendorf)

     

    華儀寧創 cell+100 低氧工作站/低氧細胞培養工作站

    華儀寧創 cell+100 低氧工作站/低氧細胞培養工作站

    寧波華儀寧創智能科技有限公司

     

    萬通EQCM石英晶體微天平模塊

    萬通EQCM石英晶體微天平模塊

    瑞士萬通中國有限公司--實驗室分析儀器

     

    3T analytik 石英晶體微天平QCM-D qCell T

    3T analytik 石英晶體微天平QCM-D qCell T

    德祥科技有限公司

     

    3T analytik 石英晶體微天平qCell μOpto

    3T analytik 石英晶體微天平qCell μOpto

    德祥科技有限公司

     

    3T analytik 石英晶體微天平qCell T eChem

    3T analytik 石英晶體微天平qCell T eChem

    德祥科技有限公司

     

    3T analytik 石英晶體微天平qCell

    3T analytik 石英晶體微天平qCell

    德祥科技有限公司

     

    普析GWA系列純水、超純水系統

    普析GWA系列純水、超純水系統

    北京普析通用儀器有限責任公司

     

    GWA-UN2-F10純水、超純水器

    GWA-UN2-F10純水、超純水器

    北京普析通用儀器有限責任公司

     

    普析GWB-1T/2T 1E/2E純水系統

    普析GWB-1T/2T 1E/2E純水系統

    北京普析通用儀器有限責任公司

     

    普析GWB-1/1super/GWB-2純水系統

    普析GWB-1/1super/GWB-2純水系統

    北京普析通用儀器有限責任公司

     

    arium ? 61316 反滲透純水系統

    arium ? 61316 反滲透純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    arium ? EDI 61215實驗室純水系統

    arium ? EDI 61215實驗室純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    arium? pro超純水系統

    arium? pro超純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    arium? advance RO 反滲透純水系統

    arium? advance RO 反滲透純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    arium? basic超純水系統

    arium? basic超純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    賽多利斯arium? comfort Ⅱ純水超純水一體系統

    賽多利斯arium? comfort Ⅱ純水超純水一體系統

    德國賽多利斯集團

     

    arium advance EDI 純水系統

    arium advance EDI 純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    賽多利斯arium mini/arium mini Plus超純水

    賽多利斯arium mini/arium mini Plus超純水

    德國賽多利斯集團

     

    賽多利斯arium? comfort I-超純水機

    賽多利斯arium? comfort I-超純水機

    德國賽多利斯集團

     

    賽多利斯 arium? mini 新型純水系統

    賽多利斯 arium? mini 新型純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    賽多利斯 arium? advance EDI 純水系統

    賽多利斯 arium? advance EDI 純水系統

    德國賽多利斯集團

     

    GenPure Pro 超純水儀

    GenPure Pro 超純水儀

    賽默飛世爾科技水質分析儀器

     

    艾科浦A3S-05-05-CE實驗室超純水機，適合于液相色譜等理化實驗

    艾科浦A3S-05-05-CE實驗室超純水機，適合于液相色譜等理化實驗

    德國賽多利斯集團

     

    默克密理博Milli-Q Integral純水/超純水一體化系統

    默克密理博Milli-Q Integral純水/超純水一體化系統

    默克生命科學

     

    CleanAcids CA3.125酸純化儀

    CleanAcids CA3.125酸純化儀

    北京普立泰科儀器有限公司

     

    PALL Cascada IXF實驗室超純水系統

    PALL Cascada IXF實驗室超純水系統

    頗爾（中國）有限公司 pall ForteBio

     

    PALL Cascada IX實驗室超純水系統

    PALL Cascada IX實驗室超純水系統

    頗爾（中國）有限公司 pall ForteBio

     

    PALL Cascada BIO 實驗室超純水系統

    PALL Cascada BIO 實驗室超純水系統

    頗爾（中國）有限公司 pall ForteBio

     

    GB/T 4058-2009

    點擊查看大圖

    標準號
    GB/T 4058-2009
    別名
    GBT4058-2009
    GB4058-2009
    發布
    2009年
    總頁數
    19頁
    發布單位
    國家質檢總局
    當前最新
    GB/T 4058-2009
     
     
    引用標準
    GB/T 14264 GB/T 1554 YS/T 209
    被代替標準
    GB/T 4058-1995

    本標準規定了硅拋光氧化繡生缺陷的檢驗方法。 本標準適用于硅拋光片表面區在模擬器件氧化工藝中繡生或增強的晶體缺陷的檢測。 硅單晶氧化繡生缺陷的檢驗也可參照此方法。

    術語 
    硅晶體完整性 silicon crystal integrity
    化學擇優腐蝕 chemical preferential corrosion

    GB/T 4058-2009 中提到的儀器設備

    顯微鏡 用于觀察和分析硅片表面缺陷的光學或電子顯微鏡。
    腐蝕液制備設備 用于配制化學腐蝕液的精密設備，確保溶液濃度和比例符合要求。

    專題

    硅片的檢測 氧化鋅片檢驗方法 碳化硅 氧化鋁 cocl2缺氧誘導實驗方法 堆垛層錯 缺陷 密度 機械拋光 標準 缺陷密度

    GB/T 4058-2009相似標準

    T/NXCL 016-2022 200 mm重摻銻直拉硅單晶拋光片 GB/T 12964-2018 硅單晶拋光片 T/ZZB 0648-2018 200 mm重摻磷直拉硅單晶拋光片 T/NXCL 017-2022 300 mm重摻磷直拉硅單晶拋光片 GB/T 29506-2013 300mm 硅單晶拋光片

    推薦

    質檢總局公布271項國家標準(09年第12期

    GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法 GB/T 4058-1995 1983-12-20 2009-10-30 2010-06-01 16 GB/T 4061-2009 硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法 GB/T 4061-1983...

    誰引用了GB/T 4058-2009 更多引用

    GB/T 41325-2022 集成電路用低密度晶體原生凹坑硅單晶拋光片


    Copyright ?2007-2025 ANTPEDIA, All Rights Reserved
    京ICP備07018254號 京公網安備1101085018 電信與信息服務業務經營許可證：京ICP證110310號
    頁面更新時間: 2025-04-07 16:17

  • <li id="ccaac"></li>
  • <table id="ccaac"><rt id="ccaac"></rt></table>
  • <td id="ccaac"></td>
  • <td id="ccaac"></td>
    • 床戏视频