GB/T 4058-2009
硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
GBT4058-2009, GB4058-2009
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- 標準號
- GB/T 4058-2009
- 別名
- GBT4058-2009
GB4058-2009 - 發布
- 2009年
- 總頁數
- 19頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 4058-2009
- 引用標準
- GB/T 14264 GB/T 1554 YS/T 209
- 被代替標準
- GB/T 4058-1995
本標準規定了硅拋光氧化繡生缺陷的檢驗方法。 本標準適用于硅拋光片表面區在模擬器件氧化工藝中繡生或增強的晶體缺陷的檢測。 硅單晶氧化繡生缺陷的檢驗也可參照此方法。