T/ZZB 0648-2018
200 mm重摻磷直拉硅單晶拋光片
200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
- 標準號
- T/ZZB 0648-2018
- 發布
- 2018年
- 發布單位
- 中國團體標準
- 當前最新
- T/ZZB 0648-2018
- 適用范圍
- 本標準規定了200 mm重摻磷直拉硅單晶拋光片的術語和定義、產品分類、基本要求、技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸和貯存、訂貨單（或合同）內容和質量承諾。 本標準適用于以電子級多晶硅為主要原材料，采用直拉法制備的直徑為200 mm的硅單晶拋光片。產品主要用于集成電路、分立器件用外延片的襯底。