運用蒙特卡羅模擬和顯影動力學,探索了電子束光刻技術所能夠實現~100 nm的波帶片透鏡(其中,100 nm波帶片高寬比為16:1)、50~300 nm的分辨率測試板(其中,300 nm測試板高寬比為10:1)和200 nm的會聚透鏡(高寬比為10:1)。對所研制的光學部件在同步輻射光源進行了實驗表征。...
上海光源包括一臺100MeV的電子直線加速器、一臺能在0.5秒內把電子束從100MeV加速到3.5GeV全能量的增強器和一臺3.5GeV的高性能電子儲存環,以及首批建成的7+1條光束線站。上海光源儲存環平均流強300mA,最小發射度4納米弧度,束流壽命大于10小時。配以先進的插入件后,可在用戶需求最集中的光子能區(0.1~40keV)產生高通量、高耀度的同步輻射光,光子亮度大于1019。...
X 射線機的峰值射線能量和強度都是可調的,實際應用的峰值射線能量范圍從幾KeV 到450KeV;直線加速器的峰值射線能量一般不可調,實際應用的峰值射線能量范圍從1 ~16MeV,更高的能量雖可以達到,主要僅用于實驗。電子輻射發生器的共同優點是切斷電源以后就不再產生射線,這種內在的安全性對于工業現場使用是非常有益的。電子輻射發生器的焦點尺寸為幾微米到幾毫米。...
(2)能量色散光譜法:首先使用探測器接收所有不同能量的X熒光,由探測器轉變為電脈沖信號,經前置放大之后用多道脈沖高度分析器進行信號處理,得到不同能量的X熒光光譜。波譜儀使用分光晶體,各元素的譜線進入探測器之前已被分光,探測器每次只能接受某一波長的譜線;而能譜儀使用的探測器和多道脈沖分析器,直接測量不同能量的元素的特征X譜線的能量。...
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