運用蒙特卡羅模擬和顯影動力學,探索了電子束光刻技術所能夠實現~100 nm的波帶片透鏡(其中,100 nm波帶片高寬比為16:1)、50~300 nm的分辨率測試板(其中,300 nm測試板高寬比為10:1)和200 nm的會聚透鏡(高寬比為10:1)。對所研制的光學部件在同步輻射光源進行了實驗表征。...
射線源常用X?射線機和直線加速器,統稱電子輻射發生器。?????? 電子回旋加速器從原則上說可以作CT?的射線源,但是因為強度低,幾乎沒有得到實際的應用。X?射線機的峰值射線能量和強度都是可調的,實際應用的峰值射線能量范圍從幾KeV?到450KeV;直線加速器的峰值射線能量一般不可調,實際應用的峰值射線能量范圍從1?~16MeV,更高的能量雖可以達到,主要僅用于實驗。...
技術性能: l 能量范圍:28keV~3 MeV l 測量劑量當量率: 0.01μSv/h~300 mSv/h l 測量累積劑量當量: 0~999 Sv l 相對固有誤差: ≤±10% (137CS 1mSv/h) l 報警聲強度 > 80 dB(距離50cm) l 實時動態顯示測量不確定度 l 按鍵啟動背光功能 l 根據用戶可選擇要求與PC數據傳輸(RS232數據通訊) l 儀器外形尺寸...
上海光源包括一臺100MeV的電子直線加速器、一臺能在0.5秒內把電子束從100MeV加速到3.5GeV全能量的增強器和一臺3.5GeV的高性能電子儲存環,以及首批建成的7+1條光束線站。上海光源儲存環平均流強300mA,最小發射度4納米弧度,束流壽命大于10小時。配以先進的插入件后,可在用戶需求最集中的光子能區(0.1~40keV)產生高通量、高耀度的同步輻射光,光子亮度大于1019。...
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