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GB/T 19444-2004
硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法

Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction

GBT19444-2004, GB19444-2004

GB/T 19444-2004 中，可能用到以下儀器設備

Agilent Resolve手持式拉曼光譜儀

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Agilent RapID 便攜拉曼系統、空間位移

安捷倫科技公司

Gemini? 分析儀

賽默飛世爾科技便攜式儀器

Raman 1000拉曼光譜儀

江蘇天瑞儀器股份有限公司

Spectrum Two紅外光譜儀

珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司PerkinElmer

Spectrum 65 傅里葉紅外光譜儀

珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司PerkinElmer

Nicolet iS20傅立葉變換紅外光譜儀

賽默飛分子光譜儀器

Spectrum 3 傅立葉變換紅外光譜儀

珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司PerkinElmer

Rheolaser Coating 動態干燥度分析儀

大昌華嘉科學儀器

VERTEX 70紅外光譜儀

布魯克光譜儀器公司(BRUKER OPTICS)

TENSOR 27/37型TENSOR系列紅外光譜儀

布魯克光譜儀器公司(BRUKER OPTICS)

SCA結構和化學分析儀

雷尼紹（上海）貿易有限公司

inVia激光顯微共聚焦拉曼光譜儀

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RA100便攜式拉曼光譜儀

雷尼紹（上海）貿易有限公司

布魯克VERTEX 80/80v 傅立葉變換紅外光譜儀

布魯克光譜儀器公司(BRUKER OPTICS)

HORIBA HE科研級便攜拉曼光譜儀

HORIBA科學儀器事業部（Jobin Yvon光譜技術）堀場

傅立葉紅外光譜儀

北京魯美科思儀器設備有限公司

Renishaw Raman-SCA-SEM 掃描電鏡-拉曼聯用系統

雷尼紹（上海）貿易有限公司

成像光譜儀

HORIBA科學儀器事業部（Jobin Yvon光譜技術）堀場

RA816生物分析儀

雷尼紹（上海）貿易有限公司

inVia InSpect共焦顯微拉曼光譜儀

雷尼紹（上海）貿易有限公司

傅立葉紅外光譜儀模塊

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光束位置感應熱電堆功率傳感器

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Chroma光學產品

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Chroma光學產品（一）

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高速高分辨率成像激光拉曼顯微鏡

QUANTUM量子科學儀器貿易（北京）有限公司

ImSpector 系列成像光譜儀

北京卓立漢光儀器有限公司/ZOLIX

高靈敏度光纖拉曼光譜儀

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“微振”系列三級聯拉曼光譜儀

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中紅外指紋區成像儀

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微秒級時間分辨超靈敏紅外光譜儀

QUANTUM量子科學儀器貿易（北京）有限公司

超精細低溫顯微拉曼系統

QUANTUM量子科學儀器貿易（北京）有限公司

顯微拉曼光譜儀 MR系列

上海如海光電科技有限公司

如海光電 Raman11510 高性能便攜式拉曼光譜儀

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掃描紅外分光光度計

北京中科科爾儀器有限公司

定制光學產品

江陰韻翔光電技術有限公司

VERTEX FM遠紅外和中紅外光譜

布魯克光譜儀器公司(BRUKER OPTICS)

FTIR-8400s傅立葉變紅外光譜儀

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傅立葉變換紅外光譜儀IRAffinity-1

島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

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4100 EXCOSCAN手持式現場測量傅里葉變換紅外光譜儀

安捷倫科技公司

Cary 630傅里葉變換紅外光譜儀

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IRPRestige-21型傅里葉變換紅外光譜儀

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傅里葉變換紅外光譜儀IRTracer-100

島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

Agilent TRS 100 透射拉曼光譜儀

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ReactIR? 實時在線FTIR反應分析技術

梅特勒-托利多中國（Mettler-Toledo）

Agilent/Cobalt Cobalt Insight200M 瓶裝液體、氣溶膠和凝膠的篩查檢測儀器

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Agilent 4300 手持式 FTIR 光譜儀

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Agilent 5500 系列一體式傅立葉變換紅外光譜儀

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Agilent 4500 系列便攜式 FTIR

安捷倫科技公司

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標準號: GB/T 19444-2004
別名: GBT19444-2004
GB19444-2004
發布: 2004年
采用標準: ASTM F1239-94 IDT
發布單位: 國家質檢總局
當前最新: GB/T 19444-2004

本標準規定了由測量硅片間隙氧含量的減少量來檢驗硅片氧沉淀特性的方法原理、取樣規則、熱處理程序、試驗步驟、數據計算等內容。本標準用于定性比較兩批或多批集成電路用硅片間隙氧沉淀特性。

專題

氧含量氧含量標準傅里葉紅外光譜儀傅里葉紅外光譜儀傅里葉-紅外光譜儀傅里葉紅外光譜儀、傅里葉紅外光譜儀、傅里葉紅外光譜儀硅氧含量硅氧含量硅氧含量氧氧含量

GB/T 19444-2004相似標準

SJ/T 10627-1995 通過測量間隙氧含量的減少表征硅片氧沉淀特性的方法 GB/T 14144-2009 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法 DB13/T 1631-2012 太陽能級多晶硅錠 GB/T 14143-1993 300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法 DB64/T 1829.1-2022 寧夏“六新”產業高質量發展標準體系第1部分：新型材料

GB/T 19444-2004 中可能用到的儀器設備

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