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GB/T 4060-2007
硅多晶真空區熔基硼檢驗方法

Polycrystalline silicon.Examination method.Vacuum zone-melting on boron

GBT4060-2007, GB4060-2007

被代替

2019-06

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標準號: GB/T 4060-2007
別名: GBT4060-2007, GB4060-2007
發布: 2007年
發布單位: 國家質檢總局
替代標準: GB/T 4060-2018
當前最新: GB/T 4060-2018

引用標準: GB/T 13389 GB/T 14264 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555
被代替標準: GB/T 4060-1983

適用范圍: 本標準適用于多晶硅沉積在硅芯上生長的多晶硅棒基硼的檢驗。本標準檢測雜質濃度有效范圍：0．002×10～100×10。

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