GB/T 4060-1983
硅多晶真空區熔基硼檢驗方法已作廢

Polycrystalline silicon--Examination method--Vacuum zone-melting on boron

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標準號

GB/T 4060-1983

發布日期

1983年12月20日

實施日期

1984年12月01日

廢止日期

2008-02-01

中國標準分類號

H21

國際標準分類號

77.040.30

發布單位

CN-GB

代替標準

GB/T 4060-2007

適用范圍

本標準適用于三氯氫硅及四氯化硅氫還原在細硅芯上沉積硅多晶所生長出來的硅多晶棒。

GB/T 4060-1983系列標準

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