GB/T 4060-2007
硅多晶真空區熔基硼檢驗方法
Polycrystalline silicon.Examination method.Vacuum zone-melting on boron
- 標準號
- GB/T 4060-2007
- 發布日期
- 2007年09月11日
- 實施日期
- 2008年02月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- H17
- 國際標準分類號
- 77.040.01
- 發布單位
- CN-GB
- 引用標準
- GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 13389 GB/T 14264
- 代替標準
- GB/T 4060-2018
- 被代替標準
- GB/T 4060-1983
- 適用范圍
- 本標準適用于多晶硅沉積在硅芯上生長的多晶硅棒基硼的檢驗。本標準檢測雜質濃度有效范圍：0．002×10
～100×10 。