ISO 18516:2006
表面化學分析.俄歇電子光譜法和X射線光電子光譜法.橫向分辨率測定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
- 標準號
- ISO 18516:2006
- 發布
- 2006年
- 中文版
- GB/T 28632-2012 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 18516:2019
- 當前最新
- ISO 18516:2019
- 引用標準
- ISO 18115:2001
- 本國際標準描述了在規定設置下測量俄歇電子能譜儀和 X 射線光電子能譜儀可實現的橫向分辨率的三種方法。 直尺法適用于橫向分辨率預計大于 1 μm 的儀器。 如果橫向分辨率預計小于 1 μm 但大于 20 nm，則網格法適用。 金島方法適用于橫向分辨率預計小于 50 nm 的儀器。 附件 A、B 和 C 提供了橫向分辨率測量的說明性示例。
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