BS ISO 13083:2015
表面化學分析. 掃描式探針顯微術. 電子掃描式探針顯微術 (ESPM), 例如用于二維摻雜成像等用途的SSRM和SCM, 中空間分辨率的定義和校準標準
Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
- 標準號
- BS ISO 13083:2015
- 發布
- 2015年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS ISO 13083:2015
- 引用標準
- ISO 18115-2 ISO 18516
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