BS ISO 13083-2015
表面化學分析. 掃描式探針顯微術. 電子掃描式探針顯微術 (ESPM), 例如用于二維摻雜成像等用途的SSRM和SCM, 中空間分辨率的定義和校準標準

Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

BS ISO 13083-2015 發布歷史

BS ISO 13083-2015由英國標準學會 GB-BSI 發布于 2015-08-31，并于 2015-08-31 實施。

BS ISO 13083-2015 在中國標準分類中歸屬于: G04 基礎標準與通用方法，在國際標準分類中歸屬于: 71.040.40 化學分析。

BS ISO 13083-2015 發布之時，引用了標準

• ISO 18115-2 表面化學分析詞匯第2部分:掃描探針顯微鏡術語*， 2021-12-21 更新
• ISO 18516 表面化學分析.納米到微米范圍內束基方法橫向分辨率和銳度的測定*， 2019-01-14 更新

* 在 BS ISO 13083-2015 發布之后有更新，請注意新發布標準的變化。

BS ISO 13083-2015的歷代版本如下：

• 2015年08月31日 BS ISO 13083-2015 表面化學分析. 掃描式探針顯微術. 電子掃描式探針顯微術 (ESPM), 例如用于二維摻雜成像等用途的SSRM和SCM, 中空間分辨率的定義和校準標準

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標準號

BS ISO 13083-2015

發布日期

2015年08月31日

實施日期

2015年08月31日

廢止日期

無

中國標準分類號

G04

國際標準分類號

71.040.40

發布單位

GB-BSI

引用標準

ISO 18115-2 ISO 18516