隨著微電子技術的發展,XPS也在不斷完善,目前,已開發出的小面積X射線光電子能譜,大大提高了XPS的空間分辨能力。通過對樣品進行全掃描,在一次測定中即可檢測出全部或大部分元素。因此,XPS已發展成為具有表面元素分析、化學態和能帶結構分析以及微區化學態成像分析等功能強大的表面分析儀器。X射線光電子能譜的理論依據就是愛因斯坦的光電子發散公式。...
隨著微電子技術的發展,XPS也在不斷完善,目前,已開發出的小面積X射線光電子能譜,大大提高了XPS的空間分辨能力。通過對樣品進行全掃描,在一次測定中即可檢測出全部或大部分元素。因此,XPS已發展成為具有表面元素分析、化學態和能帶結構分析以及微區化學態成像分析等功能強大的表面分析儀器。X射線光電子能譜的理論依據就是愛因斯坦的光電子發散公式。...
技術指標 X射線光電子能譜(XPS),可使用單色化Al靶X射線源及雙陽極Al/Mg靶X射線源,包括大面積XPS(0.8×2 mm),微區XPS(最小選區15 μm)、深度剖析XPS及XPS成像,空間分辨率<3 μm;場發射俄歇電子能譜(AES),包括深度剖析AES;掃描俄歇顯微成像(SAM);紫外光電子能譜(UPS)等。 主要功能 主要用于固體樣品表面的組成、化學狀態分析。...
原子中的內層電子或價電子吸收能量足夠大的光子后,會離開原子成為光電子,根據測定發射出來的光電子的特征能量,可定性地確定樣品表面上存在的元素,把未知樣品光電子能譜和已知的表面組分標準樣品的光電子能譜進行對比,或者和一系列相應的純元素光電子能譜進行對比,即可對樣品表面的組分進行定量成分分析。2、俄歇電子能譜高速電子打到材料表面,除產生X射線外,還會激發出俄歇電子等。...
Copyright ?2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號 京公網安備1101085018 電信與信息服務業務經營許可證:京ICP證110310號