GB/T 20724-2021
微束分析 薄晶體厚度的會聚束電子衍射測定方法
Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction
GBT20724-2021, GB20724-2021
- 標準號
- GB/T 20724-2021
- 別名
- GBT20724-2021
GB20724-2021 - 發布
- 2021年
- 發布單位
- 國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會
- 當前最新
- GB/T 20724-2021
- 引用標準
- GB/T 18907-2013 GB/T 27418-2017 ISO 15932:2013
- 被代替標準
- GB/T 20724-2006
- 本文件描述了用透射電子顯微鏡/掃描透射電子顯微鏡測定薄晶體試樣厚度的會聚束電子衍射方法。 本文件適用于測定線度為幾十納米至幾百微米、厚度在幾十納米至幾百納米范圍內的薄晶體試樣厚度。 注:由于透射電子顯微鏡薄試樣的厚度往往不均勻,用會聚束衍射方法測定的是試樣被電子束照明區的局域厚度。
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