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T/ZSA 72-2019
碳化硅單晶

Monocrystalline Silicon Carbide

標準號: T/ZSA 72-2019
發布: 2019年
發布單位: 中國團體標準
當前最新: T/ZSA 72-2019

適用范圍: 碳化硅材料是繼第一代半導體材料(以硅為代表)和第二代半導體材料(以砷化鎵和磷化銦為代表) 之后，在近十年發展起來的第三代新型半導體材料。其主要應用領域有LED固態照明、電力電子和微波射頻器件。該材料具有寬禁帶、高漂移速度、高擊穿電場、高熱導率、抗輻射等優良特性，在高溫、高壓、高頻、高功率等電子應用領域和航天、軍工、強輻射場等極端環境應用有著不可替代的優勢。碳化硅材料已成為全球半導體產業的前沿和制高點，隨著碳化硅產業的發展，產業鏈分工細化是必然的趨勢，會大量出現只專門加工碳化硅晶片的廠家，碳化硅單晶會單獨交易，因此有必要單獨制定碳化硅單晶標準。

專題

單晶和多晶單晶和多晶單晶硅長晶爐硅單晶碳氧含量碳化硅單晶單晶碳化硅單晶硅籽晶硅單晶籽晶單晶硅籽晶技術結晶碳化硅板重結晶碳化硅板碳化硅晶片檢驗

T/ZSA 72-2019相似標準

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