T/NLIA 002-2021
汽車MEMS壓力傳感器灌封工藝仿真規范
Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor
說明：
- 此圖僅顯示與當前標準最近的5級引用；
- 鼠標放置在圖上可以看到標題編號；
- 此圖可以通過鼠標滾輪放大或者縮小；
- 表示標準的節點，可以拖動；
- 綠色表示標準：T/NLIA 002-2021 ， 綠色、紅色表示本平臺存在此標準，您可以下載或者購買，灰色表示平臺不存在此標準；
- 箭頭終點方向的標準引用了起點方向的標準。
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- 標準號
- T/NLIA 002-2021
- 發布
- 2021年
- 總頁數
- 9頁
- 發布單位
- 中國團體標準
- 當前最新
- T/NLIA 002-2021
- 引用標準
- GB/T 26099.1-2010 GB/T 26807-2011 GB/T 39334.1-2020 GB/T 39334.5-2020
本文件規定了汽車 MEMS 壓力傳感器灌封工藝的仿真信息，包含了汽車 MEMS 壓力傳感器灌封工 藝仿真的基本流程：仿真模型構建、仿真運行分析、結果評價與工藝優化等。 本文件用于指導汽車 MEMS 壓力傳感器產品的生產、供應和使用，以促進傳感器工藝仿真模型的 使用和灌封...
| 術語 | |
|---|---|
| 微機電系統 | Micro-Electro-Mechanical System |
| 汽車 MEMS 壓力傳感器 | Automotive MEMS Pressure Sensor |
| 灌封工藝 | Potting Process |
| 熱失配 | Thermal Expansion Coefficient Mismatch |
| 輸出誤差 | Output Error |