T/NLIA 002-2021 汽車MEMS壓力傳感器灌封工藝仿真規范儀器譜

T/NLIA 002-2021 中，可能用到以下儀器

EVG800系列鍵合機：EVG810LT（低溫）等離子激活系統廣泛地應用于MEMS微機電系統/微流體器件

北京亞科晨旭科技有限公司

微流控芯片加工：EVG 610單面/雙面光刻機廣泛地應用于MEMS微機電系統/微流體器件

北京亞科晨旭科技有限公司

UpTek Solutions Corp.飛秒微加工系統

先鋒科技股份有限公司

飛秒激光微加工系統

北京波威科技有限公司

仲圣機電c264經典通用微壓差傳感器Setra

上海仲圣機電設備有限公司

賽默飛太赫茲傳感器

賽默飛世爾科技（中國）有限公司

賽默飛穿透式定量傳感器

賽默飛世爾科技（中國）有限公司

AquaSensors DataStick 數字化傳感器

賽默飛世爾科技（中國）有限公司

四方光電氧氣傳感器芯片優質平板型芯片

四方光電（武漢）儀器有限公司

氮氧傳感器芯片優質平板型芯片

四方光電（武漢）儀器有限公司

2 ~ 20MPa 螺栓式平膜壓力傳感器 PWFE-PA

廣州歐美大地儀器科技有限公司

100kPa ~ 50MPa 壓力傳感器 PW-PA

廣州歐美大地儀器科技有限公司

2 ~ 50MPa 平膜壓力傳感器 PWFC-PB

廣州歐美大地儀器科技有限公司

2 ~ 20MPa 螺栓式平膜壓力傳感器 PWFD-PB

廣州歐美大地儀器科技有限公司

1 ~ 50MPa 平膜壓力傳感器 PWF-PB

廣州歐美大地儀器科技有限公司

Aanderaa 壓力傳感器 4117

賽萊默

MEMS芯片測試板卡

北京漢通達科技有限公司

基恩士 GP-M系列超強型數字壓力傳感器用于汽車金屬加工

基恩士（中國）有限公司

四方光電采用MEMS芯片氣體傳感器技術汽車空氣傳感器AQM-1020

四方光電（武漢）儀器有限公司

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標準號: T/NLIA 002-2021
發布: 2021年
發布單位: 中國團體標準
當前最新: T/NLIA 002-2021

本文件規定了汽車 MEMS 壓力傳感器灌封工藝的仿真信息，包含了汽車 MEMS 壓力傳感器灌封工藝仿真的基本流程：仿真模型構建、仿真運行分析、結果評價與工藝優化等。本文件用于指導汽車 MEMS 壓力傳感器產品的生產、供應和使用，以促進傳感器工藝仿真模型的使用和灌封...

T/NLIA 002-2021
汽車MEMS壓力傳感器灌封工藝仿真規范

Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor

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四方光電氧氣傳感器芯片優質平板型芯片

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2 ~ 20MPa 螺栓式平膜壓力傳感器 PWFE-PA

100kPa ~ 50MPa 壓力傳感器 PW-PA

2 ~ 50MPa 平膜壓力傳感器 PWFC-PB

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