材料學院熱場發射掃描電鏡通過驗收
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下一篇 2010-03-24 13:47:17
2009年7月3日,山東大學日立SU-70熱場發射掃描電鏡順利通過驗收。
在教育部985工程的支持下,山東大學材料學院于2008年購買了代表世界熱場掃描電鏡的最高水平的日本日立最新熱場掃描電鏡SU-70,其性能指標如下:分辨率:1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
,1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式),放大倍數:
100-800,000x,可研究各種材料。其能譜分辨率達133eV,能測元素周期表中5B-92U。該設備配備附件陰極熒光譜儀在SEM及CL顯示器上顯示出對應波峰的單光及全光影像,并利用DigiScan做定點CL光譜分析和線分析,可以深入研究光電子學和其他半導體材料學。
山東大學在該儀器試運行半年后組織專家進行驗收,材料學院測試中心主任對該設備的安裝、調試、運行等情況作了匯報,專家最后一致達成:經試運行設備性能穩定,技術指標達到合同要求。該設備的成功驗收及購買,為材料學及相關學科的科研發展建立了一個高水平的平臺,提升了山東大學的科研實力,彌補了山東省高端熱場發射掃描電鏡的空白。


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TAG: 掃描電鏡