DIN EN ISO 14644-14:2017
潔凈室和相關控制環境.第14部分:利用氣載顆粒濃度評定設備的適合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-2016
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016
- 標準號
- DIN EN ISO 14644-14:2017
- 發布
- 2017年
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 當前最新
- DIN EN ISO 14644-14:2017
- 引用標準
- AIR 1167 DIN EN ISO 14644-1:2016 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9:2012 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926:1991 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083 Blatt 9.1 (2006-12)
- 被代替標準
- DIN EN ISO 14644-14:2014
DIN EN ISO 14644-14:2017相似標準
UNE-EN ISO 14644-14:2017 潔凈室和相關受控環境 第14部分：通過空氣顆粒濃度評估設備的適用性（ISO 14644-14:2016）
EN ISO 14644-14:2016 潔凈室和相關受控環境第14部分:由塵埃粒子濃度使用設備的適宜性評價(ISO 14644-14:2016)
DIN EN ISO 14644-1:2016 潔凈室和相關控制環境.第1部分:顆粒物濃度的空氣潔凈度分級(ISO 14644-1-2015).德文版本EN ISO 14644-1-2015
DIN EN ISO 14644-9:2012 凈化室和相關控制環境.第9部分:利用顆粒物濃度對表面潔凈度的分類(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012
DIN EN ISO 14644-2:2016 潔凈室和相關控制環境.第2部分:用粒子濃度監測提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據(ISO 14644-2-2015).德文版本EN ISO 14644-2-2015