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  • GB/T 32816-2016
    硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范

    Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

    GBT32816-2016, GB32816-2016


    標準號
    GB/T 32816-2016
    別名
    GBT32816-2016, GB32816-2016
    發布
    2016年
    總頁數
    17頁
    發布單位
    國家質檢總局
    當前最新
    GB/T 32816-2016
     
     
    引用標準
    GB 50073 GB/T 19022 GB/T 26111
    適用范圍
    本標準規定了采用以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。 本標準適用于基于以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成的加工和質量檢驗。
    術語描述
    MEMS器件
    Micro-Electro-Mechanical Systems Devices
    微機電系統器件,指集成了微型機械結構和電子元件的裝置。
    工藝集成
    Process Integration
    將多個制造步驟優化組合以實現目標產品的技術整合過程。

    GB/T 32816-2016 中提到的儀器設備

    陽極鍵合設備 用于硅片與玻璃片的對準和鍵合,提供精確的電壓和溫度控制。
    濕法腐蝕臺 用于硅片或玻璃片的濕法腐蝕處理,形成所需結構。

    專題


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